SH - 100

SH-100 Hermetic Single Scroll Pump
소형 Chamber의 Dry Pumping에 적합한 Pump로서 특히 Hydrocarbon Free 환경이
요구되는 분석 장비와 연구 개발 용도로 사용하실 수 있습니다.
이미 검증된 Triscroll™ Seal 기술로 장시간의 Service Interval이 보장 되며
Isolation Valve가 본체에 내장되어 있어 정지 또는 정전 시에 시스템으로의
Particle 역류를 자체적으로 차단하였습니다. 손쉬운 Tip Seal 교체로 유지보수가
간단합니다.

Triscroll Dry Scroll Pump
Multi Stage Dry Pump인 Triscroll Pump는 특허된 TriscrollTM
디자인으로 높은 Pumping speed와 낮은 진공 압력 도달이
가능하며,저렴한 유지 관리 비용과 일관성 있는 성능으로
신뢰성을 인정받고 있습니다.
또한 Bearing Purge Port와 Automatic Ballast Port를 채택하여
수분과 응축 가스에   대한 Tolerance를 강화 시켜 높은 내구성과
다양한 용도로 사용을 가능하게 하였습니다.
Triscroll Dry Pump는 Dry Pumping이 요구되는 반도체 ,
디스프레이 등 다양한 산업에 적합하며, Beam Line 등 초고진공이
요구되는 연구 개발 용도에 초고진공 펌프의 Back-Up 용으로도
유용합니다.

※ 제조사: Varian, Inc. (U.S.A.)

TriScroll 300 & 600