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HOME / 제품소개 / VACUUM PUMP 및 SYSTEM
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 Ion Pumps
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Vaclon Plus 75
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Ion PumpsI
on Pump는 1950년대 Varian 社에서 발명되었으며, 현재 초고진공 시스템에
있어서 대표적인 Pump가 되었습니다. Varian VacIon Plus Series는
0.4 l/sec Miniature Pump에서 1000 l/sec Combination Pump까지 다양하게
공급되고 있습니다.Starcell, Diode 그리고 Noble Diode 등 세가지 Element를 응용
분야에 맞게 선택할 수 있으며, Cell의 크기와 구조는 방전 강도와 Pumping Speed를
극대화하도록 설계되었습니다.
Ceramic Insulator는 내부 코팅물의 적재를 최소화 시켜서 오랜 수명을
가능하도록 하였습니다.
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| 옵션으로는 NEG Module, Integral Heater, Additional Ports, 그리고 Cryopanel & TSP 등이 있어 Ion Pump의 용도에 따라
보조적으로 선택하실 수 있습니다.
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Vaclon Plus Combination Pump
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| Combination Ion
Ion과 Sublimation Pump의 조합의 Pump로서 Ion Pump가 아르곤이나 메탄 등
Non-getterable Gas를 Pumping하는 동안 Sublimation Pump가 높은 속도로
Getterable Gas를 Pumping합니다.이 조합형 Pump는 VacIon Plus 150, 300, 500
model에만 제공되며 별도의 8” CFF Port에 Cryo Panel과 Source가 장착되게 됩니다.
이 조합형Pump는 Getterable Gas 에 효과적이며 Cryo Panel 자체의 수분 Pumping
능력 개선 효과도 있게 됩니다. 별도 Port는 하단 혹은 측면을 선택하실 수 있습니다.
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Dual Controller
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| Ion Pump Controller
동시에 두개의 Pump를 운전할 수 있는 Dual Controller, 다기능의
MidiVac Controller와 저렴한 MiniVac 등 세가지 Model이 있습니다.
Dual Controller는 두 줄의 LCD 창을 통하여 Pump의 전압, 전류와 진공도를 확인
할 수 있으며 진공도에 따라서 최적의 Pumping Speed를 위하여 Pump에 인가하는
전압을 자동으로 변화시켜 줍니다.
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Dual Controller
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| Miniature and Small Ion Pump
Micro Wave Tube와 X-ray Tube 제조에 필수적인 소형 디자인의
Ion Pump로서 0.4 l/sec, 2 l/sec,와 8 l/sec 등 세가지 모델이
있으며,사용자의 응용 분야에 따라서 각종 Dimension이나 형태로
주문 생산이 가능합니다.
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Dual Controller
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Titanium Sublimation Pump
수소나 질소와 같은 Getterable Gas Pumping을 목적으로 하는 Pump로서
Liquid Nitrogen Cooled Cryo Panel과 조합하여 효과를 상승시킬
수 있으며 별도의 수분 Pumping 개선 효과도 볼 수 있습니다.
Filament type 과 Ball type 두 가지가 있으며, TSP controller가
별도로 추가됩니다.
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| Filament-type TSP Sources는 열로 인해 발생되는 Outgassing 이 생기지 않게 승화 중에 꺼지게 할 수 있기 때문에
UHV System에서 가장 유용하게 사용되고 있습니다. 많은 양의 Titanium을 포함하고 있는 Ball-type Sources는
높은 압력과 같이 Titanium을 많이 사용하는 응용분야에서 오랜 시간 사용할 수 있는 장점이 있으나 Titanium Ball에서
발생하는 열분해(Crack)를 막기위해 승화 중에 Standby Power를 필요로 합니다.
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| ※ 제조사: Varian, Inc. (U.S.A.)
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