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Turbo Pumps   |   Turbo Pumping System

Turbo Pumps
Varian 社의 Turbo V-Pump Series는 70 l/sec~ 6,000 l/sec의 다양한 모델로
고객의 요구에 맞게 공급되고 있습니다. 높은 Pumping Speed, 높은 압축 비와
소형 디자인 으로 공간을 절약 할 수 있으며, 최대18 mbar의 높은 Foreline Tolerance로
작은 Backing Pump도로 충분한 운전이 가능하여 많은 비용 절감을 할 수가 있습니다

“ Plug & Pump “ 개념으로 개발된 On Board Controller를 이용하여
Turbo Pump를쉽게 운전할 수 있으며, Navigator Software를 이용하여
Start / Stop은 물론 Temperature, Gas Load Condition 및 각종 Parameter들을
운전 중에 PC상에서 확인 할 수 있습니다.

State-of-the-Art MacroTorr Technology
Varian 社의 특허인 MacroTorr Stage는 Pump의 Throughput을 최대화 시켰으며, Foreline Tolerance를 18 mbar까지
확장하여 가벼운 기체( H₂, He 등)에 대한 압축 비를 여타 Pump에 비해 현저히 증가시켰습니다.

Designed for Very High Gas Load Operation
높은 Throughput이 요구되는 공정을 위하여 전력 소모가 최소화되게 Pump Stage를 설계하였으며, 특별히 디자인된
외부 냉각 Fin과 내부 온도 분산 구조는 연속적인 가스부하에도 효과적인 운전이 가능하도록 하였습니다.

Monolithic Rotor
EDM 공법과 특허 받은 Cutting 기술로 정교한 제작을 거친 일체형 Rotor는 특수 Aluminum Alloy 재질로써 무게를 최소화하여
Pump 내부의 Bearing 및 여타 부분의 부하를 줄여 Pump 자체의 수명을 최대화 시켰습니다.

Turbo-V Pumps Applications

Turbo-V 70 / V 70D / V 70LP / V 301 Navigator Catalogues

Turbo-V 551 / V 701 / V 1001 Navigator Catalogues

Turbo-V 2000 HT / V 6000 Catalogues

Turbo-V 2K-G System Catalogues

Turbo-V Pumps Controllers Catalogues

Turbo-V Pumps Accessories Catalogues

※ 제조사: Varian, Inc. (U.S.A.)