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Touch Screen으로 모니터 화면 운전자 선택
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Helium sensitivity : 2 X 10-11atm.cc/sec
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Response time : 0.5 sec.
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Pumping speed : 70 l/s Turbo 및 300 ~ 450 l/m Backing pump
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Auto calibration : Calibrated leak 내장
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Dual filaments
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Auto zero 기능
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Audio 기능
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Sniffer 기능 가능
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대기압부터 측정가능(Gross option선택시)
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Remote controller : 8m cable
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측정 단위 선택가능(atm.cc/s, mbar.l/s, Torr.l/s, Pa.m3/s)
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|  2wheel cart
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979 Leak Detector on 2-Wheel cart
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폭(Width) : 609.6mm / (24)
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높이(Height) : 1009.98mm
(39.76)
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Dimensions : millimeters / (inches)
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| 4wheel cart
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979 Leak Detector on 4-Wheel cart
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폭(Width) : 859.94mm / (33.86)
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높이(Height) : 1095.88mm
(43.14)
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Dimensions : millimeters / (inches)
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Option & Accessories
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1.
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Dry pump version
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반도체 FAB 을 포함한 모든 Clean room 시설하에서는 일반 Oil mechanical pump를 사용할 수 없고, Oil-less
pump
를 사용하여야 하며, 고유 모델인 TriScroll pump를 사용함
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2.
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Automatic gross leak test option (dual pump version)
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Roughing 및 foreline pump 기능을 동시에 수행하는 Single pump version에 Valve 및 Gross leak
ass'y를 포함한 Roughing pump를 추가함으로써, 대기압에서부터 Leak checking이 가능함
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3.
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Remote control/display unit
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한명의 작업자가 보조 인원없이, 먼 거리에서 기기를 동작하거나 Leak rate를 display 또는 Audio alarm을 듣기 위해
필요하며, Test, Vent, Calibration, Auto-zero, LED Display 및 Audio alarm기능을 포함하고 있음
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4.
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Sniffer probe kit
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Test하고자 하는 Chamber 내부에 He을 가압하여 외부로 새어나오는 He을 감지하기 위한 악세사리
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5.
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He spray probe kit
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He을 Test하고자 하는 제품에 Spray하기 위한 악세사리
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